真空电容压力计

1.描述

PT124B-212K真空电容压力计使用高稳定电容敏感元件，具备出色的抗过压能力和优异的长期稳定性，适用于在光伏、半导体 及工业市场中对过程控制至关重要的精密真空测量。先进制造技术与工艺，保障了应用场景中的可重复性，本压力计工作电压 为24V DC，具有标准的（0~10）V DC模拟输出信号，全刻度测量，可用范围为1Torr（133Pa）至10Torr（1.33kPa）。

2.应用

真空炉  真空包装  等离子体灭菌器 冷冻干燥 真空蒸馏 石化行业 半导体行业  PECVD/ALD工艺设备  等离子体刻蚀工艺设备。

3.主要特点

行业标准接头  

高精度：标准±0.5%读数，可选±0.25%读数  

精密膜片保证优异的性能  

工作温度补偿范围宽  

电路噪声低、响应快

不易受环境条件变化影响  

出色的抗过压设计。

4.产品外形

5.过载和爆破压力额定值

5.2接线定义

6.标定操作说明

6.1标定准备

6.1.1 将0.5T、5T、10T对应调整窗保护扣取下；

6.1.2 准备一字小螺丝刀一把。

6.2标定操作

6.2.1将外部气压调整到0.5T,等待1min气压稳定后，用一字小螺丝刀先顺时针旋转半圈0.5T电位器再回半圈0.5T电位器；

6.2.2将外部气压调整到5T,等待1min气压稳定后，用一字小螺丝刀拨动一下5T按键；

6.2.3将外部气压调整到10T,等待1min气压稳定后，用一字小螺丝刀先顺时针旋转半圈10T电位器再回半圈10T电位器；

6.2.4完成上述三步动作后标定完成。

6.3标定操作注意事项

6.3.1在标定过程中必须等待1min外部气压全稳定后才能旋转0.5T及10T电位器或拨动5T按键，10T标定完成后，变送器自动保 存记录数据。

6.3.2如需重新标定0.5T或5T压力点,10T压力也需要重新标定（10T电位器同时起着保存的作用）。

7.注意事项及安装要求

7.1注意事项 

7.1.1所选电源应与真空电容压力计的输入电源一致； 

7.1.2屏蔽电缆线的屏蔽层应与电源的公共端电源连接； 

7.1.3本系列真空电容压力计接线应按接线示意图连接，确认无误方可通电！ 

7.1.4禁止在通电时插拔插头； 

7.1.5用完产品后，应拔掉插头电源。

7.2安装要求 

7.2.1真空电容压力计应垂直向上安装； 

7.2.2真空电容压力计拆装过程中应注意小心轻放，切记碰撞，以免引起仪表误差，否则需重新校准方能使用； 

7.2.3真空电容压力计不能被安装在有振动的位置上，如必须安装在振动位置上时，请用真空软管连接，以起到避震作用。

8.维护与故障排除

8.1日常维护

如果仪器变脏，请用软布擦拭，不要使用汽油，涂料稀释剂等清洁仪器。

8.2一般故障排除

9.装箱清单

真空压力计 1台 DP9串口线 1根 使用说明书 1份 合格证 1份