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小型压力传感器感应元件和主要应用

2017-09-12 [1660]
小型压力传感器是一种将压力信号转变成电信号的传感器,主要分为静态和动态压力传感器两种。高频以压电式压力传感器为主;低频静态以压阻硅、应变式压力传感器为主。动态压力传感器主要应用于爆炸物理、风洞试验、自由场压力测量领域;静态压力传感器主要应用于安全控制、生产过程控制等领域液位传感器。
 
小型压力传感器的感应元件是半导体薄膜,它主要由单晶硅和多晶硅制作而成。典型的电容式传感器结构由上下电极、绝缘体和衬底所组成。当薄膜受压力作用时,它会发生形变,这就导致上下电极之间的距离紧跟着发生变化,从而使电容发生变化。但电容的变化与上下电极之间的距离呈非线性关系。
 
小型压力传感器应用:
小型压力传感器主要应用在加速度、压力和力等的测量中。小型压力传感器是一种常用的加速度计。它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度传感器在飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击测量中已经得到了广泛的应用,特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。小型压力传感器也可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。也可以用于军事工业,例如用它来测量枪炮子弹在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。它既可以用来测量大的压力,也可以用来测量微小的压力。小型压力传感器也广泛应用在生物医学测量中,比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的,因为测量动态压力是如此普遍,所以压电传感器的应用就非常广泛工作电压及功率因型号不同而有所不同。