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真空压力传感器的原理及用途是怎样的?

2022-05-22 [438]
   真空压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。可以通过它们所能测量的压强范围,工作温度以及压强类型而进行分类;其中重要的是压强类型。
 
  真空压力传感器的原理:
  主要分为两类:分别是半导体压电阻型和静电容量型,下面我们分别介绍一下它们的原理。
 
  半导体压电阻型:在薄片表面形成半导体变形压力,通过外力使薄片变形而产生压电阻抗效果,从而使阻抗的变化转换成电信号。
 
  静电容量型:将玻璃的固定极和硅的可动极相对而形成电容,将通过外力使可动极变形所产生的静电容量的变化转换成电气信号。
 
  真空压力传感器的用途:
  由于结构不同,可以分为测定绝对压力、对大气的相对压力和差压。测定绝对压力时,传感器内自身带有真空参考压,所测压力与大气压力无关,是相对于真空的压力。对大气的相对压力是以大气压力为参考压,因此传感器弹性膜一侧始终与大气是连通的。由于大气压力与离地面的高度、四季中大气中水汽含量的变化以及不同地点和组成大气的各种气体的含量的变化有关。因此,所测得的相对压力便与上述因素有关。
 
  此外,还可从传感器弹性膜两侧分别导人流体压力,这样能测定流体不同地点或流体间的差压。针对不同用途应选用不同结构的压力传感器。