扩散硅压力传感器的优缺点

扩散硅压力传感器的优点:

1、信号输出大：扩散硅压力传感器的输出大是它很了不起的一个优点，因为输出大为后端的变送调理线路提供了很大的优势条件，分辨率高，灵敏度高。

2、可进行二次补偿：扩散硅压力传感器的灵敏度温度系数和零点温度系数能够进行补偿，即使成品芯体也可进行二次补偿，所以传感器的优点容易发挥到*。

3、价格相对便宜，性价比高，这也是扩散硅压力传感器在我们国家能够广泛应用的一个原因。实际上，如果性能能够达到要求的话，选用国产扩散硅压力传感器不失为一种经济实惠的作法。另外我们也要为支持我们的民族产业作一点贡献吧。

4、体积小巧，利于安装。下图为一种典型的扩散硅压力传感器制造的压力变送器实物图。

扩散硅压力传感器的缺点:

1、耐高温能力有限。扩散硅压力传感器的基础材料"硅"决定了传感器的耐温是有限的。通常情况下-10-60度可以保证精度。温系的补偿也只能在这个范围内进行。

2、相对于溅射膜压力传感器和电容式压力变送器抗恶劣环境能力有限，这也是一些工业现场放弃扩散硅压力传感器的一个重要原因。

3、与溅射膜压力传感器相比，扩散硅压力传感器不合适大量程压力程测量，扩散硅压力传感器zui大压力一般能做到35MPa，也有厂家号称可以做到60MPa，扩散硅压力传感器不适合大压力的液压测量场合，溅射膜压力传感器zui大压力可大220MPa。

4、扩散硅压力传感器不合适流体中含有固体颗粒的介质压力测量，扩散硅压力传感器由于采用波纹膜片作为介质隔离，波纹膜片比较脆弱，介质中含有固体颗粒非常容易损坏膜片，因此对介质要求比较严格。

5、容易泄漏测量介质，扩散硅压力传感器的结构上的弱点使它在高过载的情况下容易造成测量介质的泄漏。硅材料在过压的情况下会发生断裂。(俗称:"冲片")而溅射膜不会这样。过载后自行恢复，zui坏的情况是影响测量精度。